本发明提供一种防眩膜的制造方法、该制造方法中适合使用的模具的制造方法、以及用于该制造方法的灰度等级图形,所述防眩膜的制造方法包含基于灰度等级图形在透明基材上形成凹凸表面的工序,该灰度等级图形为最小一个边的长度为15mm以上,且灰度等级图形的能谱在空间频率0.025~0.125μm
1.一种防眩膜的制造方法,其包含根据灰度等级图形在透明基材上形成凹凸表面的工序,所述灰度等级图形的最小一个边的长度为15mm以上,且所述灰度等级图形的能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值,所述凹凸表面由凹凸表面单元的重复结构构成,所述凹凸表面单元由与所述灰度等级图形的灰度等级对应的凹部和凸部构成。
2.如权利要求1所述的方法,其中,所述灰度等级图形为二值化成白和黑的图像数据,构成所述凹凸表面单元的凹部或凸部的任一方与所述二值化后的图像数据的白区域对应。
3.如权利要求1所述的方法,其中,在所述透明基材上形成凹凸表面的工序包含如下工序:根据所述灰度等级图形,制作具有凹凸面的模具,将所述模具的凹凸面转印在所述透明基材上。
4.一种模具的制造方法,其制造权利要求3所述的模具,包含如下工序:第一镀敷工序,其对模具用基材的表面实施镀铜或镀镍;研磨工序,其对由第一镀敷工序实施了镀敷的表面进行研磨;感光性树脂膜形成工序,其在研磨后的面上形成感光性树脂膜;曝光工序,其在感光性树脂膜上将所述灰度等级图形曝光;显影工序,其对所述灰度等级图形被曝光后的感光性树脂膜进行显影;第一蚀刻工序,其使用显影后的感光性树脂膜作为掩模,进行蚀刻处理,在研磨后的镀敷面上形成凹凸;感光性树脂膜剥离工序,其剥离感光性树脂膜;和第二镀敷工序,其对所形成的凹凸面实施镀铬。
5.如权利要求4所述的方法,其中,在所述感光性树脂膜剥离工序和所述第二镀敷工序之间含有第二蚀刻工序,该第二蚀刻工序通过蚀刻处理使所形成的凹凸面的凹凸形状钝化。xa0
6.如权利要求4所述的方法,其中,在所述第二镀敷工序中形成的实施了镀铬的凹凸面为转印于所述透明基材上的模具的凹凸面。
7.如权利要求4所述的方法,其中,由所述第二镀敷工序中的镀铬形成的镀铬层具有1~10μm的厚度。
8.一种防眩膜,是利用权利要求1所述的制造方法制造的。
9.一种灰度等级图形,其用于权利要求1所述的防眩膜的制造方法,所述灰度等级图形的最小一个边的长度为15mm以上,且能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值。
10.如权利要求9所述的灰度等级图形,其为二值化成白和黑的图像数据。xa0技术领域
本发明涉及防眩(抗眩光:antiglare)膜的制造方法及利用该制造方法得到的防眩膜。另外,本发明涉及该防眩膜的制造方法中使用的灰度等级图形、及该防眩膜的制造方法中适合使用的模具的制造方法。
背景技术
液晶显示器、等离子体显示面板、布劳恩管(阴极射线管:CRT)显示器、有机电致发光(EL)显示器等图像显示装置,当外部光映入其显示面时,导致辨识性显著受损。目前,为了防止这种外部光的映入,在重视画质的电视、个人电脑、在外部光强的室外使用的视频摄像机及数码摄像机、及利用反射光进行显示的移动电话等中,在图像显示装置的表面设有用于防止外部光映入的膜层。该膜层可大致地区分为:由实施了利用光学多层膜的干涉的无反射处理的膜构成的膜层、和由实施了通过在表面上形成微细凹凸使入射光散射从而使映入像发生晕映的防眩处理的膜构成的膜层。前者的无反射膜需要形成光学膜厚均一的多层膜,因此成本高。与此相对,后者的防眩膜可以比较经济地制造,因此广泛用于大型的个人电脑、监视器等用途。目前,这种防眩膜通过如下方法等来制造:例如,将分散有微粒的树脂溶液涂布于基材片上,并调节膜厚,使该微粒露出涂布膜表面,由此在基材片上形成随机的表面凹凸的方法等。但是,使用这种分散有微粒的树脂溶液制造的防眩膜,由树脂溶液中的微粒的分散状态、涂布状态等左右着表面凹凸的配置、形状,因此难以得到想要的那种表面凹凸,在低设定防眩膜的雾度的情况下,存在不能得到充分的防眩效果之类的问题。另外,在将这种现有防眩膜配置于图像显示装置的表面的情况下,具有如下问题:显示面整体因散射光而发白,显示易发生呈浑浊的颜色的、所谓“泛白”。另外,随着最近的图像显示装置的高清晰化,也具有如下问题:图像显示装置的像素和防眩膜的表面凹凸形状发生干涉,其结果是,易发生产生亮度分布难以看到显示面的、所谓“晃眼”现象。为了消除晃眼,也试着在粘合树脂和分解于该粘合树脂的微粒之间设折射率差而使光散射,但在将这种防眩膜配置于图像显示装置的表面时,也具有对比度因微粒和粘合树脂的界面的光的散射而降低之类的问题。另一方面,也有如下尝试:不含微粒而仅用在透明树脂层的表面形成的微细凹凸来体现防眩性。例如,特开2002-189106号公报公开了一种在透明树脂膜上层叠有电离放射线固化性树脂层的固化物层的防眩膜,所述电离放射线固化性树脂层的固化物层具有三维10点平均粗糙度、及三维粗糙度基准面上的相邻凸部彼此的平均距离分别满足规定值的微细表面凹凸。该防眩膜通过以将电离放射线固化性树脂夹在压花铸型和透明树脂膜之间的状态使该电离放射线固化性树脂固化来制造。但是,通过特开2002-189106号公报公开的防眩膜,也难以实现充分的防眩效果、泛白的抑制、高对比度、及晃眼的抑制。另外,作为制作表面上形成有微细凹凸的膜的方法,已知将具有凹凸表面的辊的凹凸形状转印在膜上的方法。作为具有这种凹凸表面的辊的制作方法,例如,特开平6-34961号公报公开了一种使用金属等制作圆筒体且在其表面通过电子雕刻、蚀刻、喷砂等方法形成凹凸的方法。另外,特开2004-29240号公报公开了一种利用喷珠粒(beadsxa0shot)法制作压花辊的方法,特开2004-90187号公报公开了一种经过在辊的表面形成金属镀敷层的工序、对金属镀敷层的表面进行镜面研磨的工序、还有根据需要的进行喷丸强化处理的工序来制作压花辊的方法。但是,在如此对压花辊的表面实施了喷砂(blast)处理的状态下,产生由喷砂粒子的粒径分布引起的凹凸直径的分布,并且难以控制由喷砂得到的凹坑的深度,在以良好的再现性得到防眩功能优异的凹凸形状方面存在课题。另外,上述的特开2002-189106号公报记述了优选使用在铁的表面进行了镀铬的滚筒且利用喷砂法、喷珠粒法形成凹凸模面的方法。另外,也有如下记述:优选对如此形成有凹凸的模面实施镀铬等以提高使用时的耐久性而后再使用,由此可以实现硬膜化及防腐蚀。另一方面,在特开2004-45471号公报、特开2004-45472号公报的各自的实施例中记述有如下方法:在对铁芯表面进行镀铬,且进行了#250的液体喷砂处理之后,再次进行镀铬处理,在表面上形成微细的凹凸形状。但是,在这种的压花辊的制作方法中,由于在硬度高的镀铬层上进行喷砂、喷丸,因此难以形成凹凸,并且难以精密地控制所形成的凹凸的形状。特开2000-284106号公报记述了一种在对基材实施了喷砂加工后再实施蚀刻工序及/或薄膜的层叠工序的方法。另外,在特开2006-53371号公报中记述了一种在对基材进行研磨且实施了喷砂加工后再实施非电解镀镍的方法。另外,特开2007-187952号公报记述了一种制作压花版的技术:在对基材实施了镀铜或镀镍之后,进行研磨,实施了喷砂加工之后,再实施镀铬而制作压花版。另外,特开2007-237541号公报记述了一种制作压花版的技术:在实施了镀铜或镀镍之后,进行研磨,实施了喷砂加工之后,实施蚀刻工序或镀铜工序,之后实施镀铬而制作压花版。在这些使用喷砂加工的制作方法中,由于难以在进行了精密控制的状态下形成表面凹凸形状,因此导致制作成表面凹凸形状具有50μm以上的周期的较大的凹凸形状。其结果具有如下问题:这些较大的凹凸形状和图像显示装置的像素进行干涉,发生亮度分布,从而易发生难以看到显示面的“晃眼”。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种用于制造防眩膜的方法及由该制造方法得到的防眩膜,所述防眩膜为低雾度,但在应用于图像显示装置时,可以呈现优异的防眩性能,且能防止泛白造成的辨识性下降,并且即使在应用于高清晰的图像显示装置的情况下,也不发生晃眼而能体现出高对比度。另外,本发明的其他目的还在于,提供一种该防眩膜的制造方法中使用的灰度等级图形、及在该防眩膜的制造方法中适合使用的模具的制造方法。本发明涉及包含基于灰度等级图形在透明基材上形成凹凸表面的工序的防眩膜的制造方法。该灰度等级图形的最小一个边的长度为15mm以上,且灰度等级图形的能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值。在本发明的防眩膜的制造方法中,形成于透明基材上的凹凸表面由凹凸表面单元的重复结构(将多个凹凸表面单元重复排列的结构)构成,所述凹凸表面单元由与该灰度等级图形的灰度等级对应的凹部和凸部构成。在本发明的防眩膜的制造方法中,作为灰度等级图形,可以优选使用由计算机作成的图像数据。作为灰度等级图形的图像数据,优选为二值化成白和黑的图像数据。在灰度等级图形为二值化成白和黑的图像数据的情况下,凹凸表面单元由与二值化后的图像数据的灰度等级对应的凹部及凸部构成,具体而言,构成凹凸表面单元的凹部或凸部的任一方与二值化后的图像数据的白区域对应。在上述透明基材上形成凹凸表面的工序优选包含如下工序:根据上述灰度等级图形,制作具有凹凸面的模具,将该模具的凹凸面转印到透明基材上。另外,本发明提供一种适合在上述本发明的防眩膜的制造方法中使用的模具的制造方法。本发明的模具的制造方法包含如下工序:第一镀敷工序,其对模具用基材的表面实施镀铜或镀镍;研磨工序,其对由第一镀敷工序实施了镀敷的表面进行研磨;感光性树脂膜形成工序,其在研磨后的面上形成感光性树脂膜;曝光工序,其在感光性树脂膜上将上述灰度等级图形曝光;显影工序,其将灰度等级图形被曝光后的感光性树脂膜显影;第一蚀刻工序,其使用显影后的感光性树脂膜作为掩模,进行蚀刻处理,在研磨后的镀敷面上形成凹凸;感光性树脂膜剥离工序,其剥离感光性树脂膜;和第二镀敷工序,其对所形成的凹凸面实施镀铬;本发明的模具的制造方法,优选在感光性树脂膜剥离工序和第二镀敷工序之间包含第二蚀刻工序,该第二蚀刻工序通过蚀刻处理,使由第一蚀刻工序形成的凹凸面的凹凸形状钝化。在第二镀敷工序中形成的实施了镀铬的凹凸面,优选转印于透明基材上的模具的凹凸面。即,不在第二镀敷工序后设研磨表面的工序,优选将实施了镀铬的凹凸面直接作为转印在透明基材上的模具的凹凸面来使用。由第二镀敷工序的镀铬形成的镀铬层优选具有1~10μm的厚度。另外,本发明涉及由上述本发明的防眩膜的制造方法得到的防眩膜、及在上述本发明的防眩膜的制造方法中使用的、最小一个边的长度为15mm以上且能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值的灰度等级图形。本发明的灰度等级图形优选为二值化成白和黑的图像数据。根据本发明,可以以良好的再现性制造防眩膜,该防眩膜为低雾度,但在应用于图像显示装置时,能够呈现优异的防眩性能,且能够防止泛白造成的辨识性降低,并且即使在应用于高清晰的图像显示装置的情况下,也不发生晃眼而体现出高对比度。
附图说明
图1是放大表示在本发明的防眩膜的制造方法中优选使用的灰度等级图形的一例的局部的图,且是放大表示在实施例1及实施例3的模具制作时使用的灰度等级图形的局部的图;图2是示意地表示本发明的模具的制造方法的前半部分的优选的一例的图;图3是示意地表示本发明的模具的制造方法的后半部分的优选的一例的图;图4是示意地表示在第一蚀刻工序中进行喷砂的状态的图;图5是示意地表示通过第二蚀刻工序使由第一蚀刻工序形成的凹凸面钝化的状态的图。图6是放大表示在实施例2的模具制作时使用的灰度等级图形的局部的图。图7是放大表示在比较例1~3的模具制作时使用的灰度等级图形的局部的图。图8是放大表示在比较例4的模具制作时使用的灰度等级图形的局部的图。图9是放大表示在比较例5的模具制作时使用的灰度等级图形的局部的图。图10是放大表示在比较例6的模具制作时使用的灰度等级图形的局部的图。图11是放大表示在比较例7的模具制作时使用的灰度等级图形的局部的图。图12是表示根据在实施例1及实施例2中使用的灰度等级图形计算出的能谱G²(f_x,f_y)的f_x=0的截面的图。
具体实施方式
<防眩膜的制造方法>下面,对本发明的最佳实施方式进行详细说明。本发明的防眩膜的制造方法的特征在于,包含根据特定的灰度等级图形在透明基材上形成微细的凹凸表面(微细凹凸表面)的工序。在此,“灰度等级图形”典型的意思是指为形成防眩膜的微细凹凸表面而使用的、利用计算机作成的由2级灰度等级或3级灰度等级以上的层次构成的图像数据,但也可以包含可一意地向该图像数据变换的数据(矩阵数据等)。作为可一意地向该图像数据变换的数据,可以举出只保存有各像素的坐标及灰度等级的数据等。通过以对应于这种灰度等级图形的灰度等级的方式在透明基材上形成凹部及凸部,可以在透明基材上形成与一个灰度等级图形对应的凹凸表面单元。在本发明的防眩膜的制造方法中,在透明基材上形成的微细凹凸表面可以由将2个以上凹凸表面单元紧密地重复排列而成的凹凸表面单元的重复结构构成。(灰度等级图形)在本发明中,作为上述灰度等级图形,使用最小一个边的长度为15mm以上且能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值的图形。通过根据这样的灰度等级图形在透明基材上形成微细凹凸表面,可以提供一种如下的防眩膜:具有低雾度且在应用于图像显示装置时,能够呈现优异的防眩性能,且能够防止泛白造成的辨识性降低,并且即使在应用于高清晰的图像显示装置的情况下,也不会发生晃眼而可以体现高对比度。即,通过使用能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值的灰度等级图形,可以高精度地形成呈现特定的空间频率分布的微细凹凸表面,更具体而言,可以高精度地形成包含具有10~50μm的周期的表面形状作为主要成分的微细凹凸表面,由此,能够体现充分的防眩效果(防映入效果等),且能够充分地抑制晃眼。在防眩膜的微细凹凸表面包含超过50μm的长周期成分的情况下,当配置于高清晰的图像显示装置的表面时,存在易产生晃眼的倾向,另外,在只包含不足10μm的短周期成分的微细凹凸表面上,具有防映入效果等防眩效果不充分的倾向。另外,在通过将对应于某图形的凹凸表面单元重复排列形成微细凹凸表面而制作的防眩膜中,有时会看到与外部光的干涉形成的干涉色,在配置于图像显示装置的表面时,有时发生干扰条纹,但根据本发明,通过将灰度等级图形的最小一个边的长度设定为15mm以上,可以得到不仅防映入能力优异且能够高效地防止干涉色及干扰条纹的发生的防眩膜。需要说明的是,即使灰度等级图形的最小一个边的长度不足15mm,有时也不发生干涉色及干扰条纹,但在灰度等级图形的最小一个边的长度不足10mm的情况下,发生干涉色及干扰条纹的倾向强烈,为了可靠地防止干涉色及干扰条纹的发生,优选将灰度等级图形的最小一个边的长度设定为15mm以上。进而,在将对应于某图形的凹凸表面单元重复排列形成微细凹凸表面的情况下,在照射外部光而观察防眩膜表面时,可能会观察到其重复花纹(例如,根据正方形的图形而形成了将正方形的凹凸表面单元紧密地重复排列而成的微细凹凸表面时的、形成各凹凸表面单元的边界线的格子状的线),但通过使用最小一个边的长度为15mm以上且能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值的灰度等级图形,能够得到观察不到这种重复花纹的辨识性极其优异的防眩膜。在此,灰度等级图形的“最小一个边的长度”,意思是指构成灰度等级图形的外形的边中、最短的边的长度。关于灰度等级图形的外形形状,只要最小一个边的长度为15mm以上,就没有特别限制,例如,可以举出具有15mm以上的边的三角形、四边形、六边形等多边形。灰度等级图形优选具有在将多个图形邻接重复排列在平面上时不会形成未配置图形的区域而可以紧密填充的外形形状。由此,在基于灰度等级图形在透明基材上形成微细凹凸表面时,能够防止发生未形成凹凸的区域。从这种观点出发,灰度等级图形的外形与设定为圆形等具有曲线的外形相比,优选设定为多边形。在将灰度等级图形的外形形状设定为三角形、四边形、六边形等多边形的情况下,各边的长度可以相同,也可以不同。灰度等级图形的最小一个边的长度优选为16mm以上,更优选为20mm以上。另外,对灰度等级图形的最小一个边的长度的上限不作特别限制,但从利用计算机制作图像数据时的、抑制计算负荷增加这种观点出发,优选为300mm以下。接着,对灰度等级图形的能谱进行说明。如上所述,本发明所使用的灰度等级图形为能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值的灰度等级图形。通过根据呈现这种空间频率特性的灰度等级图形来形成微细凹凸表面,可以得到防眩性能优异且抑制了晃眼、泛白、干涉色、干扰条纹及重复花纹的辨识性优异的防眩膜。在灰度等级图形为图像数据的情况下,灰度等级图形的能谱通过如下方法求出:在将该灰度等级图形变换为256级灰度等级的灰色标度之后,用二维函数g(x,y)表示灰度等级图形数据的灰度等级,将所得到的二维函数g(x,y)进行傅里叶变换,计算二维函数G(f_x,f_y),将所得到的二维函数G(f_x,f_y)进行平方计算而求出。在此,x及y表示灰度等级图形数据面内的正交坐标(例如,x方向为作为图像数据的灰度等级图形的横向方向,y方向为作为图像数据的灰度等级图形的纵向方向),f_x及f_y分别表示x方向的空间频率、y方向的空间频率。实际上,各像素的灰度等级可以设定为离散的数据点的集合,因此表示图像数据的灰度等级的二维函数g(x,y)为离散函数。因而,通过由下式(1)定义的离散傅里叶变换,来计算离散函数G(f_x,f_y),通过将所得到的离散函数G(f_x,f_y)进行平方计算,求出能谱G²(f_x,f_y)。在此,式(1)中的π为圆周率,i为虚数单位。另外,M为x方向的像素数,N为y方向的像素数,I为-M/2以上M/2以下的整数,m为-N/2以上N/2以下的整数。另外,Δf_x及Δf_y分别为x方向及y方向的空间频率间隔,分别用下式(2)及式(3)定义。式(2)及式(3)中的Δx及Δy分别为x轴方向、y轴方向的水平分辨率。需要说明的是,在灰度等级图形为图像数据的情况下,Δx及Δy分别与一个像素的x轴方向的长度及y轴方向的长度相等。即,在作成灰度等级图形作为6400dpi的图像数据的情况下,Δx=Δy=4μm,在作成灰度等级图形作为12800dpi的图像数据的情况下,Δx=Δy=2μm。G(fx,fy)=G(lΔfx,mΔfy)=1MNΣj=0M-1Σk=0N-1g(x,y)exp[-2πi(jlΔxΔfx+kmΔyΔfy)]---(1)]]>Δfx≡1MΔx---(2)]]>Δfy≡1NΔy---(3)]]>如后所述,在将作为图像数据的灰度等级图形设定为随机地配置有多个点的图形、或者基于此作成作为图像数据的灰度等级图形的情况下,能谱G²(f_x,f_y)在用将横向、纵向、高度分别设定为f_x、f_y、能谱G²(f_x,f_y)的三维曲线表示时,成为以f_x=0及f_y=0的原点为中心的点对称。因此,在本发明中,“表示能谱的最大值的空间频率”采用根据表示能谱G²(f_x,f_y)的f_x=0的截面的图(横轴为空间频率f_y,纵轴为能谱的二维曲线)求出的空间频率。在该二维曲线中,关于横轴的空间频率f_y,由于能谱也关于f_y=0对称,因此可以为空间频率f_y的绝对值。需要说明的是,在本发明中,“能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值”包含如下情况:在表示能谱G²(f_x,f_y)的f_x=0的截面的图中,能谱具有多个最大值,这些最大值的1个以上位于在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内。图1是放大表示在本发明的防眩膜的制造方法中优选使用的灰度等级图形的一例(具体而言,在实施例1及实施例3的模具制作时使用的灰度等级图形)的局部的图。在本发明中,灰度等级图形所具有的具体的图形形状,只要最小一个边的长度为15mm以上且能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值,就不作特别限制,但例如也可以为图1所示的那种随机地配置多个点(图1的白色区域)而成的图形。图1所示的灰度等级图形为二值化成白和黑的2级灰度等级的图像数据(图像析像度:12800dpi),且为随机地配置有多个点径(点的直径)为16μm的一种点的图形。另外,该灰度等级图形是一个边为20mm的正方形,其能谱在空间频率0.046μm^-1处呈现最大值。这样,在随机地配置多个点作成灰度等级图形的情况下,既可以随机配置具有一种点径的多个点,也可以随机配置具有多种点径的多个点。对点的平均点径(图形中的全部点的点径的平均值)不作特别限定,但优选为6~30μm。在平均点径不足6μm的情况或超过30μm的情况下,有时能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内不呈现最大值。在灰度等级图形为图像数据的情况下,作为随机地描画多个点的方法,例如可以举出如下方法:对于宽度WX、高度WY的图像而言,通过生成取值0~1的伪随机数序列R[b],生成例如点中心的x坐标为WX×R[2×a-1]、y坐标为WY×R[2×a]的多个点。在此,a、b都是自然数。作为生成伪随机数序列的方法,只要是线性全等法、Xorshift或马特赛特旋转算法(Mersennexa0Twister)等具有可对应于所分布的点数的足够的周期长的方法,可以使用任意的伪随机数生成法。或者,不局限于伪随机数,也可以利用通过热噪声等生成随机数的硬件,作成随机排列有点的图形数据。另外,本发明中使用的灰度等级图形也可以为对上述随机配置多个点而形成的图形数据实施特定的操作而得到的图形数据。作为这种操作,可以举出如下操作等,例如:(i)使用高通滤波器的操作,该高通滤波器除去由特定的下限值B以下的空间频率构成的低空间频率成分;(ii)使用带通滤波器的操作,该带通滤波器除去由低于特定的下限值B′的空间频率构成的低空间频率成分、及由超过特定的上限值T′的空间频率构成的高空间频率成分,抽取由从该下限值B′到该上限值T′之间的特定范围的空间频率构成的空间频率成分。根据上述(i)的应用高通滤波器得到的灰度等级图形,由于从可以在随机配置多个点而成的图形中含有的空间频率成分中,除去低空间频率成分,因此更难以形成周期超过50μm的微细凹凸表面,可以更高效地防止晃眼。上述的下限值B可以设定为例如0.02~0.05μm^-1的范围内。另外,根据上述(ii)的应用带通滤波器得到的灰度等级图形,由于从可以在随机配置多个点而成的图形中含有的空间频率成分中,除去低空间频率成分及高空间频率成分,因此更难以形成周期超过50μm的微细凹凸表面,可以更高效地防止晃眼,并且能够提高根据灰度等级图形在透明基材上形成凹凸表面时的加工再现性。下限值B′例如为0.01μm^-1以上,优选为0.02μm^-1以上。上限值T′优选为1/(D×2)μm^-1以下。在此,D(μm)为在透明基材上形成凹凸表面时使用的加工装置的分辨率(例如,利用激光描画装置使抗蚀剂曝光形成凹凸表面时的、激光的光斑直径)。在随机配置多个点而作成灰度等级图形的情况、及对其使用高通滤波器或带通滤波器作成灰度等级图形的情况下,通过适当地控制点径、点密度、高通滤波器的下限值B、带通滤波器的下限值B′及上限值T′等,可以得到能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值的灰度等级图形。点密度(描画点的区域相对于灰度等级图形全区域的比例)优选为20~80%,更优选为40~70%。在透明基材上形成凹凸表面的工序包含使用了激光描画装置等的抗蚀剂处理的情况等时,本发明的防眩膜的制造方法中使用的灰度等级图形优选为二值化成白和黑的图像数据。这是因为,在包含使用了激光描画装置等的抗蚀剂处理的情况等时,例如,通常是利用是否照射激光的二值来形成凹凸形状。3级灰度等级以上的图像数据,通过考虑抗蚀剂处理等中的曝光区域的比率等,设定适当的阈值,可以容易地变换为经二值化后的图像数据。(根据灰度等级图形的凹凸表面的形成)在本发明的防眩膜的制造方法中,根据上述的灰度等级图形,在透明基材上形成微细凹凸表面。形成的微细凹凸表面由与灰度等级图形的灰度等级对应的凹部及凸部构成。在灰度等级图形为二值化成白和黑的图像数据的情况下,构成微细凹凸表面的凹部或凸部中的任一方与二值化后的图像数据的白区域相对应。另外,在本发明中,形成于透明基材上的微细凹凸表面,也可以是由重复结构构成的微细凹凸表面,该重复结构是使由与一个灰度等级图形的灰度等级相对应的凹部和凸部构成的凹凸表面单元邻接并紧密地重复排列而成。由这种重复结构构成的微细凹凸表面,既可以通过使用图像数据即将2个以上的灰度等级图形重复排列作成的图形数据而形成,也可以通过依次重复排列而形成与一个灰度等级图形相对应的微细凹凸表面(凹凸表面单元)而形成。另外,也可以通过制作与一个灰度等级图形相对应的掩模,并将多个该掩模重复排列配置,然后隔着该排列配置的多个掩模进行全面曝光而形成。作为根据上述灰度等级图形在透明基材上形成微细凹凸表面的具体方法,例如可以举出印刷法、图形曝光法、压花法等。在印刷法中,例如通过使用光固化性树脂或热固化性树脂的柔性版印刷、网板印刷、喷墨印刷等,将上述的灰度等级图形印刷于透明基材上而制作之后,通过干燥、或利用活性光线或加热使其固化,由此可以制造本发明的防眩膜。例如,在柔性版印刷中,制作基于上述的图形的凸版即柔性版,在柔性版的凸部涂布光固化性树脂,将所涂布的光固化性树脂转印在透明支承体上之后,利用活性光线进行固化,由此可以将基于上述的图形的微细凹凸形成在透明支承体上。如果是网板印刷,则制作基于上述的图形的孔板即网板,利用该网板和光固化性树脂,将上述的图形印刷于透明支承体上之后,利用活性光线使光固化性树脂固化,由此可以将微细凹凸形成在透明支承体上。如果是喷墨印刷,则利用光固化性树脂直接将上述的图形印刷于透明支承体上,其后,利用活性光线使光固化性树脂固化,由此可以将微细凹凸形成于透明支承体上。通过这种印刷法形成的微细凹凸通常倾角较陡,在透明支承体上存在未形成树脂层的部位,因此,优选在利用印刷法形成的微细凹凸上进一步涂布光固化性树脂,将倾角平滑化,并且在透明支承体的整个面上形成树脂层。在图形曝光法中,将光固化性树脂涂布于透明支承体上之后,通过使用上述的灰度等级图形的基于激光器的直描曝光、及隔着具有上述的灰度等级图形的掩模的全面曝光,进行图形曝光,根据需要进行显影之后,利用活性光线或加热使其固化,由此可以制造本发明的防眩膜。在基于激光器的直描曝光中,将光固化性树脂涂布于透明支承体上之后,通过激光光对上述的图形进行直描曝光,使通过显影而曝光的部位残留或溶解,进而向所残留的光固化性树脂照射活性光线,使其完全固化,由此可以将根据上述图形的微细凹凸形成于透明支承体上。这种通过基于激光器的直描曝光而形成的微细凹凸,通常倾角较陡,因此优选在通过基于激光器的直描曝光而形成的微细凹凸上进一步涂布光固化性树脂,将倾角平滑化。在隔着掩模的全面曝光中,制作具有上述图形的掩模,将光固化性树脂涂布于透明支承体上之后,隔着该掩模将光固化性树脂曝光,使显影工序中曝光的部位残留或溶解,进而向所残留的光固化性树脂照射活性光线,使其完全固化,由此可以将根据上述图形的微细凹凸形成于透明支承体上。在隔着掩模的全面曝光中,微细凹凸的倾角也可以通过适当地控制邻近间隙来控制,也可以通过控制曝光的程度来控制,也通过将掩模制作成灰度等级掩模来控制该曝光的程度来控制。在压花法中,根据上述的灰度等级图形,制造具有微细凹凸表面的模具,将所制造的模具的凹凸面转印在透明基材上,接下来,将转印有凹凸面的透明基材从模具上剥离,由此可以制造本发明的防眩膜。其中,本发明的防眩膜从精度良好且再现性良好地形成微细凹凸表面的观点出发,优选通过压花法进行制造。作为压花法,例示使用光固化性树脂的UV压花法、使用热塑性树脂的热压花法。其中,从生产率的观点出发,优选UV压花法。UV压花法为如下方法:在透明基材的表面形成光固化性树脂层,边将其光固化性树脂层按压于模具的凹凸面,边使其固化,由此将模具的凹凸面转印于光固化性树脂层。具体而言,在透明基材上涂布紫外线固化型树脂,在使所涂布的紫外线固化型树脂与模具的凹凸面密合的状态下,从透明基材侧照射紫外线,使紫外线固化型树脂固化,其后,从模具上将形成有固化后的紫外线固化型树脂层的透明基材剥离,由此将模具的凹凸形状转印于紫外线固化型树脂。在采用UV压花法的情况下,透明基材实质上是光学透明的膜,可以举出例如三乙酰纤维素膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、聚甲基丙烯酸甲酯膜、聚碳酸酯膜、以降冰片烯类化合物为单体的非晶性环状聚烯烃等热塑性树脂的溶剂浇铸膜或挤压膜等树脂膜。对采用UV压花法时的紫外线固化型树脂的种类不作特别限定,可以使用市场上出售的合适的紫外线固化型树脂。另外,也可以使用将适当选择的光引发剂与紫外线固化型树脂组合而即使用波长比紫外线长的可见光也可固化的树脂。作为紫外线固化型树脂,例如可以适当使用含有三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯等多官能丙烯酸酯的一种或二种以上、和Irgacurexa0907(汽巴特种化学品公司制)、Irgacurexa0184(汽巴特种化学品公司制)、Lucirinxa0TPO(BASF公司制)等光聚合引发剂的树脂组合物。另一方面,热压花法是将由热塑性树脂构成的透明基材在加热状态下按压于模具而将模具的表面凹凸形状转印于透明基材的方法。作为热压花法使用的透明基材,只要是实质上透明的基材,任何基材都可以,例如可以使用聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、三乙酰纤维素、以降冰片烯类化合物为单体的非晶性环状聚烯烃等热塑性树脂的溶剂浇铸膜或挤压膜等。这些透明树脂膜也可以还适合用作用于涂布上面说明的UV压花法中的紫外线固化型树脂的透明基材。<制作防眩膜用的模具的制造方法>下面,对本发明的防眩膜的制造方法中可以适合使用的模具的制造方法进行说明。图2是示意地表示本发明的模具的制造方法的前半部分的优选的一例的图。图2示意地表示各工序的模具的剖面。本发明的模具的制造方法基本上包含:(1)第一镀敷工序;(2)研磨工序;(3)感光性树脂膜形成工序;(4)曝光工序;(5)显影工序;(6)第一蚀刻工序;(7)感光性树脂膜剥离工序;(8)第二镀敷工序。下面,参照图2对本发明的模具的制造方法的各工序进行详细说明。[1]第一镀敷工序在本发明的模具的制造方法中,首先,对模具使用的基材的表面实施镀铜或镀镍。这样,通过对模具用基材的表面实施镀铜或镀镍,能够提高后面的第二镀敷工序的镀铬的密合性、光泽性。即,在对铁等的表面实施镀铬的情况、或用喷砂法、喷珠粒法等在镀铬表面形成凹凸之后再次实施镀铬的情况下,表面易变得粗糙,产生细裂纹,难以控制模具表面的凹凸形状。与此相对,首先,对基材表面实施镀铜或镀镍,由此可以消除这种不良情况。这是因为,镀铜或镀镍包覆性强,平滑化作用也强,因此填埋模具用基材的微细凹凸、空洞(cavity)等而形成平坦且具有光泽的表面。根据这些镀铜或镀镍的特性,即使在后述的第二镀敷工序中实施镀铬,也可以消除认为是存在于基材的微细凹凸、空洞所引起的镀铬表面的粗糙,另外,由于镀铜或镀镍的包覆性强,因此可以降低细裂纹的发生。作为第一镀敷工序中使用的铜或镍,除了可以是各自的纯金属以外,也可以使用以铜为主体的合金、或以镍为主体的合金,因此本说明书所说的“铜”是包括铜及铜合金的意思,另外,“镍”是包括镍及镍合金的意思。镀铜及镀镍分别用电解镀进行,也可以用非电解镀进行,但通常采用电解镀。在实施镀铜或镀镍时,当镀层太薄时,不能彻底排除基底表面的影响,因此其厚度优选为50μm以上。镀层厚度的上限不是临界性的上限,但鉴于成本等,镀层厚度的上限优选设定为最大500μm左右。在本发明的模具的制造方法中,作为模具用基材的形成而适合使用的金属材料,从成本的观点出发,可以举出铝、铁等。从操作的便利性出发,更优选使用轻量的铝。在此所说的铝及铁也同样除了可以为各自的纯金属以外,也可以使用以铝或铁为主体的合金。另外,模具用基材的形状为该领域目前采用的适当的形状即可,例如,除平板状以外,也可以是圆柱状或圆筒状的卷材。如果使用卷状的基材制作模具,具有能够以连续的卷状制造防眩膜的优点。[2]研磨工序在接下来的研磨工序中,对在上述第1镀敷工序中实施了镀铜或镀镍的基材表面进行研磨。优选经过该工序将基材表面研磨到接近镜面的状态。这是因为,为了达到所需的精度,大多数情况下是对成为基材的金属板、金属卷实施切削、磨削等机械加工,由此在基材表面残留加工孔眼,在实施了镀铜或镀镍的状态下,有时也残留这些加工孔眼,而且在镀敷完的状态下并不一定表面变得完全平滑。即,即使对残留有这样深的加工孔眼等的表面实施了后述的工序,有时加工孔眼等的凹凸比实施了各工序后形成的凹凸还深,有可能残留加工孔眼等的影响,使用这样的模具制造防眩膜时,有时对光学特性产生不能预期的影响。图2(a)示意地表示平板状的模具用基材7具有在第1镀敷工序中对其表面实施镀铜或镀镍(对该工序中形成的镀铜或镀镍的层没有图示)、进而通过研磨工序进行了镜面研磨的表面8的状态。对于对实施了镀铜或镀镍的基材表面进行研磨的方法,并无特别限制,可以使用机械研磨法、电解研磨法、化学研磨法的任何方法。作为机械研磨法,可以例示超精加工法、研磨法、流体研磨法、抛光(buff)研磨法等。研磨后的表面粗糙度,优选按照JISxa0Bxa00601的规定的中心线平均粗糙度Ra为0.1μm以下,更优选为0.05μm以下。如果研磨后的中心线平均粗糙度Ra大于0.1μm,有可能对最终的模具表面的凹凸形状残留研磨后的表面粗糙度的影响。此外,对于中心线平均粗糙度Ra的下限并无特别限制,从加工时间、加工成本的观点出发,自然存在限度,无特别指定的必要性。[3]感光性树脂膜涂布工序在接下来的感光性树脂膜涂布工序中,将感光性树脂以溶解于溶剂得到的溶液涂布到通过上述研磨工序实施了镜面研磨的基材7的经研磨的表面8,进行加热、干燥,从而形成感光性树脂膜。图2(b)示意地表示在模具用基材7的经研磨的表面8形成了感光性树脂膜9的状态。作为感光性树脂,可以使用以往公知的感光性树脂。作为具有感光部分固化的性质的负型的感光性树脂,例如可以使用分子中具有丙烯酰基或甲基丙烯酰基的丙烯酸酯的单体、预聚物,双叠氮化物(bisazide)和二烯橡胶的混合物,聚肉桂酸乙烯酯系化合物等。此外,作为具有通过显影使感光部分洗脱、只残留未感光部分的性质的正型的感光性树脂,例如可以使用酚醛树脂系、酚醛清漆树脂系等。此外,感光性树脂中根据需要可以配合增感剂、显影促进剂、密合性改进剂、涂布性改进剂等各种添加剂。将这些感光性树脂涂布于模具用基材7的经研磨的表面8时,为了形成良好的涂膜,优选在适当的溶剂中稀释而涂布,作为溶剂,可以使用溶纤剂系溶剂、丙二醇系溶剂、酯系溶剂、醇系溶剂、酮系溶剂、高极性溶剂等。作为涂布感光性树脂溶液的方法,可以使用凸液涂布(meniscusxa0coat)、喷泉式涂布、浸涂、旋转涂布、辊式涂布、绕线棒涂布、气刀涂布、刮刀涂布、及帘式涂布等公知的方法。涂布膜的厚度优选在干燥后为1~6μm的范围。[4]曝光工序在接下来的曝光工序中,将上述的灰度等级图形在由上述的感光性树脂膜形成工序形成的感光性树脂膜9上曝光。曝光工序使用的光源可以按照涂布的感光性树脂的感光波长、感光度等适当选择,可以使用例如高压水银灯的g线(波长:436nm)、高压水银灯的h线(波长:405nm)、高压水银灯的i线(波长:365nm)、半导体激光(波长:830nm、532nm、488nm、405nm等)、YAG激光(波长:1064nm)、KrF准分子激光(波长:248nm)、ArF准分子激光(波长:193nm)、F2准分子激光(波长:157nm)等。本发明的模具的制造方法中为了高精度地形成表面凹凸形状,优选在曝光工序中在精密控制的状态下将上述灰度等级图形在感光性树脂膜上曝光。本发明的模具的制造方法中,为了高精度地将上述灰度等级图形在感光性树脂膜上曝光,优选根据由计算机作成的图像数据即灰度等级图形,利用从计算机控制的激光头发出的激光光,在感光性树脂膜上描画图形。在进行这种激光描画时,可以使用印刷版作成用的激光描画装置。作为这样的激光描画装置,可以举出例如Laserxa0Streamxa0FX((株)ThinkLaboratory制)等。图2(c)示意地表示将图形曝光于感光性树脂膜9的状态。用负型的感光性树脂形成感光性树脂膜时,曝光的区域10通过曝光,进行树脂的交联反应,相对于后述的显影液的溶解性下降。因此,显影工序中没有曝光的区域11被显影液溶解,只有曝光的区域10残留在基材表面上而成为掩模。另一方面,用正型的感光性树脂形成感光性树脂膜时,曝光的区域10通过曝光,将树脂的结合切断,相对于后述的显影液的溶解性增加。由此,显影工序中曝光的区域10被显影液溶解,只有未曝光的区域11残留在基材表面上而成为掩模。[5]显影工序在接下来的显影工序中,将负型的感光性树脂用于感光性树脂膜9时,未曝光的区域11被显影液溶解,只有已曝光的区域10残存在模具用基材上,在接下来的第1蚀刻工序中作为掩模发挥作用。另一方面,将正型的感光性树脂用于感光性树脂膜9时,只有已曝光的区域10被显影液溶解,未曝光的区域11残存在模具用基材上,作为接下来的第1蚀刻工序中的掩模发挥作用。对于显影工序中使用的显影液,可以使用以往公知的显影液。可以列举例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、正硅酸钠、氨水等无机碱类,乙胺、正丙胺等伯胺类,二乙胺、二正丁胺等仲胺类,三乙胺、甲基二乙基胺等叔胺类,二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺类,四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、三甲基羟乙基氢氧化铵等季铵盐,吡咯、哌啶等环状胺类等碱性水溶液,二甲苯、甲苯等有机溶剂等。对于显影工序中的显影方法并无特别限制,可以使用浸渍显影、喷射显影、刷涂显影、超声波显影等方法。图2(d)示意地表示将负型的感光性树脂用于感光性树脂膜9并进行了显影处理的状态。图2(c)中未曝光的区域11被显影液溶解,只有已曝光的区域10残留在基材表面上而成为掩模12。图2(e)示意地表示将正型的感光性树脂用于感光性树脂膜9并进行了显影处理的状态。图2(c)中曝光的区域10被显影液溶解,只有未曝光的区域11残留在基材表面上而成为掩模12。[6]第1蚀刻工序在接下来的第1蚀刻工序中,使用上述显影工序后在模具用基材表面上残存的感光性树脂膜作为掩模,主要将无掩模的部位的模具用基材蚀刻,在经研磨的镀敷面上形成凹凸。图3为示意地表示本模具的制造方法的后半部分的优选的一例的图。图3(a)示意地表示通过第1蚀刻工序主要将无掩模的部位13的模具用基材7蚀刻的状态。掩模12的下部的模具用基材7没有从模具用基材表面被蚀刻,但随着蚀刻的进行,进行从无掩模的部位13的蚀刻。因此,在掩模12和无掩模的部位13的边界附近,掩模12的下部的模具用基材7也被蚀刻。在这样的掩模12和无掩模的部位13的边界附近,掩模12的下部的模具用基材7也被蚀刻,以下将此称为侧向蚀刻。图4中示意地示出侧向蚀刻的进行。图4的点线14阶段性地表示随蚀刻的进行而变化的模具用基材的表面。第1蚀刻工序中的蚀刻处理,通常通过使用氯化铁(FeCl₃)液、氯化铜(CuCl₂)液、碱蚀刻液(Cu(NH₃)₄Cl₂)等,将金属表面腐蚀而进行,但也可以使用盐酸、硫酸等强酸,也可以使用通过施加与电解镀时相反的电位的反电解蚀刻。在实施了蚀刻处理时的模具用基材上形成的凹形状,因基底金属的种类、感光性树脂膜的种类和蚀刻手法等而异,因此不能一概而论,蚀刻量为10μm以下时,从与蚀刻液接触的金属表面大致各向同性地被蚀刻。这里所说的蚀刻量,是由蚀刻削减的基材的厚度。第1蚀刻工序中的蚀刻量优选为1~50μm。蚀刻量小于1μm时,金属表面几乎无法形成凹凸形状,成为大致平坦的模具,因此不显示防眩性。此外,蚀刻量超过50μm时,金属表面形成的凹凸形状的高低差增大,在应用使用所得到的模具而制作的防眩膜的图像显示装置中,可能会产生泛白。第1蚀刻工序中的蚀刻处理可以采用1次的蚀刻处理来进行,也可以分2次以上来进行蚀刻处理。分2次以上进行蚀刻处理时,2次以上的蚀刻处理中的蚀刻量的合计优选为1~50μm。[7]感光性树脂膜剥离工序在接下来的感光性树脂膜剥离工序中,将第1蚀刻工序中作为掩模使用的残存的感光性树脂膜完全溶解除去。在感光性树脂膜剥离工序中使用剥离液将感光性树脂膜溶解。作为剥离液,可以使用与上述的显影液同样的液体,通过改变pH、温度、浓度和浸渍时间等,将使用了负型的感光性树脂膜时的曝光部的感光性树脂膜、使用了正型的感光性树脂膜时的非曝光部的感光性树脂膜完全溶解除去。对于感光性树脂膜剥离工序中的剥离方法,也无特别限制,可以使用浸渍显影、喷射显影、刷涂显影、超声波显影等方法。图3(b)示意地表示通过感光性树脂膜剥离工序将第1蚀刻工序中作为掩模12使用的感光性树脂膜完全溶解除去的状态。通过利用了由感光性树脂膜形成的掩模12的蚀刻,在模具用基材表面形成第1表面凹凸形状15。[8]第2镀敷工序接下来,通过对所形成的凹凸面(第一表面凹凸形状15)实施镀铬,使表面的凹凸形状钝化。图3(c)表示通过在由第一蚀刻工序的蚀刻处理形成的第一表面凹凸形状15上形成镀铬层16而形成有凹凸比第一表面凹凸形状15钝的表面(镀铬的表面17)的状态。本发明中,在平板、卷材等的表面采用有光泽、硬度高、摩擦系数小、能赋予良好的脱模性的镀铬。镀铬的种类并无特别限制,优选使用称为所谓光泽镀铬、装饰用镀铬等的显现良好的光泽的镀铬。通常通过电解进行镀铬,作为其镀浴,使用含有铬酸酐(CrO₃)和少量硫酸的水溶液。可以通过调节电流密度和电解时间来控制镀铬的厚度。上述的特开2002-189106号公报、特开2004-45472号公报、特开2004-90187号公报等中公开了采用镀铬,但因模具的镀敷前的基底和镀铬的种类,常常在镀敷后表面粗糙,或产生大量由镀铬引起的微小的裂纹,其结果,利用该模具而得到的防眩膜的光学特性会向不优选的方向发展。镀敷表面粗糙的状态的模具,不适合用于制造防眩膜。原因在于,一般为了消除不光滑,在镀铬后对镀敷表面进行研磨,如后所述,本发明中不优选镀敷后的表面的研磨。本发明中,通过对基底金属实施镀铜或镀镍,将容易因镀铬产生的这样的不利情况消除。需要说明的是,在第2镀敷工序中,不优选实施镀铬以外的镀敷。原因在于,对于铬以外的镀敷,硬度、耐磨损性降低,因此作为模具的耐久性降低,使用中凹凸磨损,或者模具损伤。由这样的模具得到的防眩膜,难以获得足够的防眩功能的可能性高,此外,在膜上产生缺陷的可能性也升高。此外,上述的特开2002-90187号公报等公开的那种镀敷后的表面研磨也仍然在本发明中不优选。即,优选在第二镀敷工序后,不设研磨表面的工序,使用实施了镀铬的凹凸面直接作为转印在透明基材上的模具的凹凸面。其理由在于,通过研磨,在外表面上会产生平坦的部分,因此可能会招致光学特性变差,另外,由于形状的控制因素增加,因此再现性良好的形状控制较困难等。这样,在本发明的模具的制造方法中,通过对形成有微细表面凹凸形状的表面实施镀铬,可以得到凹凸形状钝化并且其表面硬度增高的模具。此时的凹凸的钝化情况,因基底金属的种类、由第1蚀刻工序得到的凹凸的尺寸和深度、以及镀敷的种类、厚度等而异,因此不能一概而论,在控制钝化情况方面最大的因素仍是镀敷厚度。如果镀铬的厚度薄,使镀铬加工前得到的凹凸的表面形状钝化的效果不足,将其凹凸形状转印到透明基材而得到的防眩膜的光学特性不会太好。另一方面,如果镀敷厚度过厚,则生产率变差,此外,产生称为结状物的突起状的镀敷缺陷,因此不优选。因此,镀铬的厚度优选为1~10μm的范围内,更优选为3~6μm的范围内。该第2镀敷工序中形成的镀铬层,优选以维氏硬度达到800以上的方式形成,更优选以达到1000以上的方式形成。镀铬层的维氏硬度小于800时,模具使用时的耐久性降低,而且因镀铬而使硬度降低,这是因为,镀敷处理时镀浴组成、电解条件等产生异常的可能性高,对缺陷的发生状况也造成不优选的影响的可能性高。此外,在本发明的模具的制造方法中,优选上述[7]感光性树脂膜剥离工序和[8]第2镀敷工序之间包含通过蚀刻处理使由第1蚀刻工序形成的凹凸面钝化的第2蚀刻工序。第2蚀刻工序中,通过蚀刻处理使由将感光性树脂膜用作掩模的第1蚀刻工序形成的第1表面凹凸形状15钝化。通过该第2蚀刻处理,由第1蚀刻处理形成的第1表面凹凸形状15中的表面倾斜急陡的部分消失,使用得到的模具制造的防眩膜的光学特性向优选的方向变化。图5中示出了通过第2蚀刻处理,基材7的第1表面凹凸形状15钝化,使表面倾斜急陡的部分钝化,形成具有缓和的表面倾斜的第2表面凹凸形状18的状态。第2蚀刻工序的蚀刻处理也与第1蚀刻工序一样,通常通过使用氯化铁(FeCl₃)液、氯化铜(CuCl₂)液、碱蚀刻液(Cu(NH₃)₄Cl₂)等,将表面腐蚀而进行,但也可以使用盐酸、硫酸等强酸,也可以使用通过施加与电解镀时相反的电位的反电解蚀刻。实施了蚀刻处理后的凹凸的钝化情况,因基底金属的种类、蚀刻手法和由第1蚀刻工序得到的凹凸的尺寸和深度等而异,因此不能一概而论,控制钝化情况方面最大的因素是蚀刻量。这里所说的蚀刻量,也与第1蚀刻工序一样是被蚀刻削减的基材的厚度。如果蚀刻量小,使由第1蚀刻工序得到的凹凸的表面形状钝化的效果不足,将其凹凸形状转印到透明基材上而得到的防眩膜的光学特性不会太好。另一方面,如果蚀刻量过大,几乎不会成为凹凸形状,成为大致平坦的模具,因此无法显示防眩性。因此,蚀刻量优选为1~50μm的范围内,更优选为4~20μm的范围内。对于第2蚀刻工序中的蚀刻处理,也与第1蚀刻工序一样,可以采用1次的蚀刻处理来进行,也可以分2次以上来进行蚀刻处理。在分2次以上进行蚀刻处理时,2次以上的蚀刻处理中的蚀刻量的合计优选为1~50μm。通过使用由本发明的模具的制造方法得到的模具,来精度良好地控制并形成微细凹凸表面形状,因此可以得到体现充分的防眩性、且不发生泛白、配置于图像显示装置的表面时也不发生晃眼、呈现高对比度的防眩膜。另外,可以得到高效抑制了干涉色、干扰条纹的发生及重复花纹的发生的防眩膜。例下面,举出实施例对本发明进行更详细的说明,但本发明不局限于这些实施例。(1)灰度等级图形的呈现能谱的最大值的空间频率的测定用12800dpi将作成的灰度等级图形数据设定为256级灰度等级的灰色标度的图像数据,用二维的离散函数g(x,y)表示灰度等级。将所得到的二维离散函数g(x,y)进行离散傅里叶变换,求出二维函数G(f_x,f_y)。将二维函数G(f_x,f_y)进行平方计算,计算能谱的二维函数G²(f_x,f_y),通过作为f_x=0的截面曲线的G²(0,f_y)[横轴为空间频率f_y、纵轴为能谱的二维曲线],求出呈现能谱的最大值的空间频率。在此,在下述表1所示的“呈现能谱的最大值的空间频率”中记述有存在于空间频率f_y=0μm^-1的位置以外的多个最大值中、以绝对值最小的空间频率呈现最大的最大值的该空间频率。计算中使用的图形的水平分辨率Δx及Δy都为2μm。另外,计算范围采用1000μm×1000μm。(2)防眩膜的雾度的测定防眩膜的雾度用JISxa0Kxa07136规定的方法进行测定。具体而言,使用基于该规格的雾度仪HM-150型(村上色彩技术研究所制),测定雾度。为了防止防眩膜的翘曲,使用光学透明的粘合剂,以凹凸面成为表面的方式贴合于玻璃基板之后,供于测定。通常,当雾度变大时,在应用于图像显示装置时,图像变暗,其结果是,正面对比度易降低。因此,雾度优选为低。(3)防眩膜的防眩性能的评价(重复花纹、干涉色、映入、泛白的目视评价)为了防止来自防眩膜的背面的反射,以凹凸面成为表面的方式,将防眩膜贴合于黑色丙烯酸树脂板,在配有荧光灯的明亮室内,从凹凸面侧进行目视观察,对有无重复花纹、有无干涉色、有无荧光灯的映入及有无泛白等进行目视评价。重复花纹、干涉色、映入及泛白分别以1~3三个等级通过下面的标准进行评价。重复花纹xa01、未观察到重复花纹xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa02、观察到少许重复花纹xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa03、明显地观察到重复花纹干涉色xa0xa0xa01、未观察到干涉色xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa02、观察到少许干涉色xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa03、明显地观察到干涉色映入xa0xa0xa0xa0xa01、未观察到映入xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa02、观察到少许映入xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa03、明显地观察到映入泛白xa0xa0xa0xa0xa01、未观察到泛白xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa02、观察到少许泛白xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa03、明显地观察到泛白(晃眼及干扰条纹的评价)从市场出售的液晶电视(LC-32GH3(夏普(株)制))上剥离表背两面的偏光板。代替这些原始偏光板,背面侧和显示面侧均通过胶粘剂贴合偏振板SUMIKARANxa0SRDB31E(住友化学(株)制)以使各自的吸收轴与原始的偏振板的吸收轴一致,进而在显示面侧偏振板上通过胶粘剂贴合以下的各例中所示的防眩膜以使凹凸面成为表面。在该状态下,从距离样品约30cm的位置进行目视观察,对晃眼及干扰条纹的程度以三个等级通过下面的标准进行评价。晃眼xa0xa0xa0xa0xa01、未观察到晃眼xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa02、观察到少许晃眼xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa03、明显地观察到晃眼干扰条纹xa01、未观察到干扰条纹xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa02、观察到少许干扰条纹xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa0xa03、明显地观察到干扰条纹<实施例1>准备对直径200mm的铝卷(基于JIS的A5056)的表面实施了铜巴拉德镀敷(銅バラ一ドめつき)的卷。铜巴拉德镀层由铜镀层/薄银镀层/表面铜镀层组成,镀层整体的厚度设定为约200μm。对其镀铜表面进行镜面研磨,在经研磨的镀铜表面涂布感光性树脂,进行干燥而形成感光性树脂膜。接着,将图形数据在感光性树脂膜上通过激光光进行曝光,且进行显影,该图形数据是将图1所示的多个灰度等级图形数据连续地重复排列而成的图形数据。采用激光光的曝光、和显影,使用Laserxa0Streamxa0FX((株)ThinkLaboratory制)进行。将正型的感光性树脂用于感光性树脂膜。图1所示的灰度等级图形为随机地配置有多个点径(点的直径)为16μm的点的图形,能谱在空间频率0.046μm^-1处呈现最大值。另外,图1所示的灰度等级图形数据作成一个边为20mm的正方形。然后,用氯化铜液进行第1蚀刻处理。此时的蚀刻量设定为3μm。从第1蚀刻处理后的卷材除去感光性树脂膜,再次用氯化铜液进行第2蚀刻处理。此时的蚀刻量设定为10μm。然后,进行镀铬加工,制作模具A。此时,镀铬厚度设定为4μm。用醋酸乙酯溶解光固化性树脂组合物GRANDICxa0806T(大日本油墨化学工业(株)制),成为50重量%浓度的溶液,进而相对于100重量份固化性树脂成分添加5重量份光聚合引发剂Lucirinxa0TPO(BASF公司制,化学名:2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基膦化氧),调制涂布液。将该涂布液涂布到厚度80μm的三乙酰纤维素(TAC)膜上,使干燥后的涂布厚度为10μm,在设定为60°C的干燥机中干燥3分钟。用橡胶辊将干燥后的膜压到先前得到的模具A的凹凸面以使光固化性树脂组合物层成为模具侧而使它们密合。在该状态下从TAC膜侧照射强度20mW/cm²的来自高压水银灯的光以使以h线换算光量计达到200mJ/cm²,使光固化性树脂组合物层固化。然后,从模具与固化树脂一起剥离TAC膜,制作由表面具有凹凸的固化树脂和TAC膜的层合体构成的透明的防眩膜A。<实施例2>作为利用激光光进行曝光的灰度等级图形,使用图6所示的灰度等级图形,以表1记述的蚀刻量进行第一蚀刻处理及第二蚀刻处理,除此以外,与实施例1同样,得到模具B。除了利用所得到的模具B以外,与实施例1同样,制作防眩膜B。图6所示的灰度等级图形数据为随机配置有多个点径为12μm的点的图形,能谱在空间频率0.056μm^-1处呈现最大值。另外,图6所示的灰度等级图形数据作成一个边为100mm的正方形。<实施例3>作为利用激光光进行曝光的灰度等级图形,将图形数据作成一个边的长度为16mm的正方形,除此以外,使用与实施例1中使用的相同的灰度等级图形,除了以表1记述的蚀刻量进行第一蚀刻处理及第二蚀刻处理以外,与实施例1同样,得到模具C。除了利用所得到的模具C以外,与实施例1同样,制作防眩膜C。<比较例1及比较例2>作为利用激光光进行曝光的灰度等级图形,使用作为一个边的长度为20mm的正方形而作成的图7所示的灰度等级图形数据,以表1记述的蚀刻量进行第一蚀刻处理及第二蚀刻处理,除此以外,与实施例1同样,得到模具D及模具E。除了利用所得到的模具D及模具E以外,与实施例1同样,制作防眩膜D及防眩膜E。图7所示的灰度等级图形数据为随机配置有多个点径为36μm的点的图形,能谱在空间频率0.017μm^-1处呈现最大值。图7所示的灰度等级图形数据的能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内不具有最大值。<比较例3>作为利用激光光进行曝光的灰度等级图形,使用作为一个边的长度为10mm的正方形而作成的图7所示的灰度等级图形数据,除此之外,与比较例1同样,得到模具F。除了利用所得到的模具F以外,与比较例1同样,制作防眩膜F。<比较例4~7>作为利用激光光进行曝光的灰度等级图形,分别使用图8~11所示的灰度等级图形,以表1记述的蚀刻量进行第一蚀刻处理及第二蚀刻处理,除此以外,与实施例1同样,得到模具G~J。除了利用所得到的模具G~J以外,与实施例1同样,制作防眩膜G~J。图8所示的灰度等级图形为随机配置有多个点径为16μm的点的图形,能谱在空间频率0.056μm^-1处呈现最大值。另外,图8所示的灰度等级图形数据作成一个边为10mm的正方形。图9所示的灰度等级图形数据为随机配置有多个点径为14μm、18μm及22μm的三种点的图形,能谱在空间频率0.042μm^-1处呈现最大值。另外,图9所示的灰度等级图形数据作成一个边为2mm的正方形。图10所示的灰度等级图形数据为随机配置有多个点径为20μm的点的图形,能谱在空间频率0.033μm^-1处呈现最大值。另外,图10所示的灰度等级图形数据作成一个边为1mm的正方形。图11所示的灰度等级图形数据为随机配置有多个点径为22μm的点的图形,能谱在空间频率0.033μm^-1处呈现最大值。另外,图11所示的灰度等级图形数据作成一个边为1mm的正方形。将制作模具A~J时的第一蚀刻处理及第二蚀刻处理的蚀刻量、以及制作中使用的灰度等级图形的点径、呈现能谱的最大值的空间频率(如上所述,该栏记述的空间频率为在能谱G²(f_x,f_y)的f_x=0的截面曲线即G²(0,f_y)上存在于空间频率f_y=0μm^-1的位置以外的多个最大值中、以绝对值最小的空间频率呈现最大的最大值的该空间频率。)、灰度等级图形的形状及最小一个边的长度汇总在表1中。另外,图12是表示根据实施例1及实施例2中使用的灰度等级图形计算的能谱G²(f_x,f_y)的f_x=0的截面的图。图12的横轴的数值表示空间频率f_y的绝对值。表1ntent="drawing" img-format="tif" inline="no" orientation="portrait" wi="660"/>另外,表2表示的是所得到的防眩膜的雾度的测定结果及防眩性能的评价结果。表2ntent="drawing" img-format="tif" inline="no" orientation="portrait" wi="663"/>由表2的评价结果可知,由本发明的制造方法得到的实施例1~3的防眩膜A~C为如下的防眩膜:利用最小一个边的长度为15mm以上且能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值的灰度等级图形,制作模具,将所得到的模具的凹凸面转印而形成微细凹凸表面,因此防映入能力优异,并且观察不到晃眼、泛白、重复花纹、干涉色及干扰条纹而辨识性优异。另外,防眩膜A~C为低雾度,也发挥良好的防眩性能,因此可以提供一种具有优异的防眩性同时也体现高对比度的图像显示装置。另一方面,在比较例1及2的防眩膜D及E中,使用的灰度等级图形的最小一个边的长度为20mm,因此不发生干涉色及干扰条纹,但能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内不呈现最大值,因此晃眼及泛白的抑制效果不充分。另外,通过使用能谱在上述范围内不呈现最大值的灰度等级图形,而观察到重复花纹(构成与重复排列的灰度等级图形对应的凹凸表面单元的轮廓的格子状的线)。另外,在比较例3~7的防眩膜F~J中,使用的灰度等级图形的最小一个边的长度为1~10mm,因此,即使在能谱在空间频率0.025~0.125μm^-1的范围内呈现最大值的情况下,也会观察到重复花纹。另外,在使用的灰度等级图形的最小一个边的长度不足10mm的比较例5~7的防眩膜H~J中,也会观察到干涉色及干扰条纹。进而,在比较例3的防眩膜F中,使用的灰度等级图形的能谱在空间频率0.025~0.125μm-¹的范围内不呈现最大值,因此会观察到晃眼。